梅州中頻電源設備廠1、DEF-6B電子槍電源櫃的操(cāo)作:1)打開總電源2)同時開電子槍控製Ⅰ和(hé)電(diàn)子槍控製(zhì)Ⅱ電(diàn)源:按電子槍(qiāng)控製Ⅰ電源、延時開(kāi)關(guān),延時、電源及保護燈亮,三分鍾後延時及保護燈滅,若後門未關(guān)好或水(shuǐ)流(liú)繼電器有故障,保護燈會常亮。3)開高壓,高壓(yā)會達到10KV以上,調節束流(liú)可到200mA左右,簾柵(shān)為20V/100mA,燈絲(sī)電流1.2A,專業中頻(pín)電源設備廠偏(piān)轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺(bǎi)動。2、關機順序:1)關高真空(kōng)表頭、關分子泵。2)待分子泵顯示到50時,依次關高閥(fá)、前級、機械泵,這期(qī)間約(yuē)需40分鍾。3)到50以下時,再關維持泵。
梅州中頻電源設備廠選(xuǎn)用了領先的PWM脈寬(kuān)調製(zhì)技術,具有傑出的動態特性和抗(kàng)幹擾才能,動態呼應時刻小於10mS。規劃有電(diàn)壓、電流(liú)雙閉環操控電路,可實時對輸出電(diàn)壓電流的操控,能(néng)有用處(chù)理濺射過(guò)程中陰極靶麵的不清潔導致弧光放電造成(chéng)大電流衝擊導致電源的損壞(huài)疑問。選用(yòng)數字化DSP操(cāo)控技術,主動操控電源的(de)恒壓恒流狀況。在(zài)起弧和維(wéi)弧時能主動疾(jí)速操(cāo)控電壓電流使起弧和維弧(hú)作業更安穩。專業中頻電源(yuán)設備廠(chǎng)真空室裏的堆積條件跟(gēn)著時刻發作改動是常見的表象。在一輪運(yùn)轉過中,蒸發源的特性會跟著膜材的耗費而改動,尤其(qí)是規劃中(zhōng)觸及多層鍍膜(mó)時,假如技(jì)術進程需繼續數個(gè)小(xiǎo)時,真空(kōng)室的熱梯度也(yě)會上升。一起(qǐ),當真空(kōng)室內壁發作堆積變髒時,不一樣次序的工效逐步發生區別。這些要素雖然是漸進的並可以進行抵償,但仍然大概將其視為(wéi)體係公(gōng)役的一部(bù)分。
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