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太倉單極脈衝(chōng)磁控(kòng)濺射電源廠家1、電控櫃的操(cāo)作(zuò):1)開水泵、氣源。2)開總電源。3)開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位(wèi)置,等待其值小於10後,優質單極脈衝磁控濺射電(diàn)源廠家(jiā)再進入下一步操作。約(yuē)需5分鍾。4)開機械泵、予抽,開渦輪分(fèn)子泵電源、啟動(dòng),真(zhēn)空計開關換到V2位置(zhì),抽到小於2為止,約需20分鍾。5)觀察渦輪分子泵讀數到達250以後,關予抽,開前機和高閥繼續抽(chōu)真空,抽真空到(dào)達一定程(chéng)度後才能開右邊的高真空表頭,觀察真(zhēn)空度(dù)。真空到達2×10-3以後才能開電子(zǐ)槍電源。