真空鍍膜機技（jì）術中幾種電源的介（jiè）紹

真空鍍膜機的（de）鍍膜（mó）工藝，應適用於電源，鍍基（jī）材不同，工藝不一樣，設備配置不一樣，電源的使用也（yě）不一樣，下（xià）麵為大（dà）家介紹幾種常見的電源：

電弧電源（yuán）

電弧離子鍍膜中靶材的蒸發和電離須（xū）依靠電弧電源提供能量。在實際的鍍（dù）膜過程中，電源應能自動檢測到滅弧現象並自動啟動電弧，以確保（bǎo）鍍膜（mó）過程的連續性和均勻性（xìng）。此外，電弧電源的電弧穩定性能，特別是（shì）小電弧穩定電流，對薄膜的一致性、效率和光潔度有很大（dà）影響。一（yī）台多弧離子鍍膜機配備了幾個電弧電源，十幾個，甚至幾十套。穩定可靠（kào）的運行（háng）對（duì）整個設備的性能至關重要。電弧電源從傳統的電（diàn）源，通過使用晶閘管技術，發展到目前的高頻逆變器。與傳統電磁晶閘管技（jì）術製成的電弧電源相比，高頻（pín）逆變電弧電源具有（yǒu）以下特點：

1.體積減小，僅為舊電源的一小部（bù）分；相應電源的重量僅為傳（chuán）統電源（yuán）的（de）十（shí）分（fèn）之一到十分之一。

2.電源效率明顯提高，比舊電源效率提高約20%-30%。

3.操作輕便，電（diàn）流（liú）調節精度高，穩流性能好，有利於（yú）控製膜（mó）厚（hòu），保證膜厚（hòu）的（de）可重複性。

4.高頻逆變（biàn）模式的電弧電源紋波較（jiào）小，響應速度遠高於舊（jiù）電源。在相（xiàng）同的電弧源和（hé）工作條（tiáo）件下，使（shǐ）用高頻逆變電弧電（diàn）源有利於提（tí）高電（diàn）弧的穩定性，減少滅弧次數。

磁控（kòng）濺射電源

從輸出波形（xíng）來看，隨著磁控濺射技術本身的發展，經曆了直流、單極脈衝、對稱雙極脈衝（chōng）（中頻磁控濺射電源）和雙極脈衝（非對稱中頻磁控濺（jiàn）射功率）幾種方式。目前，新型磁控濺射電源基本采用高頻逆變開關電源技術，中頻磁控濺射電源已成為新型磁控濺射設備（bèi）電源。為了控製膜層（céng）的厚度，磁控濺射電源須穩定工作並具有（yǒu）良好的恒定特（tè）性。目前，主要使用恒流模式，也有恒功率模式，很（hěn）少使用恒壓模式。此外，磁控濺（jiàn）射鍍膜技術的一個顯著優點是膜層致密，光潔度（dù）好。為了實現這一（yī）優勢，有（yǒu）必要在磁控濺射過程中嚴格（gé）限製靶表麵上的點火次數和每次點火（huǒ）的（de）能量，並盡量減少點火力矩引起的宏觀靶粒子（zǐ）的數量，這將降低膜層的密度和光潔度，嚴重導致薄膜脫落。

偏壓電源

偏壓電源用於（yú）多弧離子和磁控（kòng）濺射塗層技術。隻是（shì）因為磁控濺射的電離率遠低於多弧離子鍍，所以所需偏壓電源的功（gōng）率（lǜ）較（jiào）小。目前，許多（duō）設備都配備了磁控濺射（shè）靶和多弧靶，偏壓電源的選擇應（yīng）根據多單（dān）元操作的要求來確定。早期的偏置（zhì）電壓主要是（shì）采用晶閘管技術的直流偏置電源，現在主要是采用高頻逆變技術製（zhì）造的單極、直流疊加脈衝（chōng）和雙極脈衝偏置電源。偏壓電源主要用於多弧離子和磁控濺射塗層、離子轟擊和薄膜沉積過程中的輝（huī）光清洗，以在鍍（dù）覆工件上施加偏壓，並在輝光清洗過程中產生輝光。在離子轟擊中用於加速離子，提高離子轟擊進入工件表麵的能量，達到濺射清洗效果和提高薄（báo）膜結合力的目的，在薄膜沉積中，它還用於增加（jiā）離子能量（liàng），促進和改善薄膜（mó）生長（zhǎng），還將提高（gāo）薄膜基部結合力，以下是偏壓電源的幾種常見（jiàn）波（bō）形：

單（dān）極脈衝偏壓電（diàn）源

主要特點

1.高頻單極脈衝（chōng）偏壓（yā）作用在工件上，與直流偏壓相比，由於存在電壓（yā）中斷間（jiān）隙，可以有效減少點（diǎn）火次數，保護工件表麵。

2.在（zài）脈衝間隙（xì）期間，工件表麵積累（lèi）的電荷可以（yǐ）被中（zhōng）和，從而減少表麵電荷積累引起的點火。

3.高頻（pín）逆變技術的快速關斷能力能有效減少每次火花釋（shì）放的能量，即（jí）使出現（xiàn）火花，也（yě）能顯著降低對工件表麵的大損（sǔn）傷程度。

4.在脈衝間隙期間（jiān）沉積到工件表麵的離子能量非常（cháng）低。

5.通過調節頻率和占空比，可（kě）以提高（gāo）和控製成膜速度和質（zhì）量。

直流疊加脈衝（chōng）偏壓電源

主要特點（diǎn）

1.具有單極脈衝偏壓電源（yuán）的所有特性。

2.在直流和直流疊（dié）加脈衝模式下，消除了單極脈衝間（jiān）隙之間（jiān）離子能量低的問題。

雙極脈（mò）衝偏壓電源

主要特點

1.負脈衝的作用與單極（jí）脈衝偏壓電源相同（tóng），正脈衝的作用主要是吸引等離子（zǐ）體中的電子，以中和工件表麵積累的正電荷。因為電（diàn）子的質量（liàng）比離子的質量小得多，所以加速很容易，所以正脈衝的幅度比負脈（mò）衝（chōng）的幅度小得多。通常為10~100V，正（zhèng）負脈衝的電流積（jī）分應該（gāi）相等。因此，正電源的功（gōng）率遠小於（yú）負電源的功率。

2.當正電源（yuán）電壓為零（líng）時，雙極性脈衝偏壓變為（wéi）單極性脈衝偏壓（yā）。