偏壓電源類型

脈衝偏壓電源是真空電（diàn）弧離子鍍和磁控濺射鍍（dù）膜或其他（tā）真空物理氣相沉積設備的重（chóng）要組成部分，對於不同的鍍膜工藝，偏（piān）壓電源也分為不同的類型

根據波形可以分為：

一、直（zhí）流偏壓電源（yuán）

二、直流脈衝偏置

主要特點

1.高頻單極脈（mò）衝對工件施加偏壓，與直流偏壓相比（bǐ），由於電壓中斷間隙的存在，可以有效減少點火次數，保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期間，可（kě）以中和工件表麵積（jī）聚的（de）電荷，從而減少表麵電荷積聚（jù）引起的點火。

3.高頻逆變器技術的快速關（guān）斷能力可以有效地減少每個（gè）火花釋放的能量，即使在（zài）火花出現（xiàn）時，也（yě）可以顯著降低工件表麵的大損傷程度。

4.在脈衝間隙期間沉積到工件表麵的離子能量非常（cháng）低。

5.可以通過調節頻率和（hé）占空比來提高和控製成膜速（sù）度（dù）和質量。

三、直流疊加脈衝偏置（zhì）

主要特點

1.具（jù）有（yǒu）單極脈衝偏置電源（yuán）的所有特性。

2.在直流和直流疊加脈衝模式下，消除了單極脈衝間隙之間離子能（néng）量低的問題（tí）。

四（sì）、雙極脈衝偏置

主要特點（diǎn）

1.負脈衝的（de）作用與單極脈衝偏置電源相同（tóng），正脈衝的作用主要是吸引等離子體中的電子，以中和工件表麵正電荷的積累。因為電子的質量比離子的（de）質量小得多，加速很容易，所以正脈衝的振幅比負脈衝的振幅小（xiǎo）得多——通常為10~100V，正負脈衝的電（diàn）流積（jī）分應該相等。因此，正電源的功率遠小於負電源的功（gōng）率。

2.當正電源電壓為零時，雙極脈衝偏壓變為單極脈衝偏壓。