主要型號:
型號 | 功率 (kW) | 最大工作 電流(liú)(A) | 外形 尺(chǐ)寸 | 冷卻 方式(shì) | 空載電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單(dān)元 | 風(fēng)冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單(dān)元 | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |
主(zhǔ)要特點:
A 明顯(xiǎn)改善靶麵電荷積累現象,減小濺(jiàn)射表麵(miàn)的打火次(cì)數,提高膜層質(zhì)量。
B 具有平均電源穩定功能,具有理(lǐ)想(xiǎng)的電壓陡降特性,
充分滿足磁控(kòng)濺射工藝過程的連續性。
C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占(zhàn)空比20%~80%。
E 可選(xuǎn)擇手動控製/模擬量(liàng)接口控(kòng)製,可選配RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關(guān)器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定(dìng)可(kě)靠,生產工藝嚴格(gé)完善。
該(gāi)係列產品采用先進的DSP控製係統(tǒng),充分保證鍍膜工藝的重複(fù)性,
並且具有抑製靶材弧光(guāng)放電及抗短路功能,
具(jù)有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提(tí)高了靶(bǎ)麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節;
方便維護,可(kě)靠性高(gāo);
PLC接(jiē)口和RS485接口擴展功能,方便(biàn)實現自動化控製。
主要用途:
單極脈(mò)衝(chōng)磁控濺(jiàn)射適用於金屬、合金及(jí)石墨等靶材鍍製金屬膜(mó)、碳膜和部(bù)分氧化物、氮化物及碳化物膜。
鏡(jìng)片在接受鍍膜前(qián)必須進行預清洗,這種清洗(xǐ)要求很高,達(dá)到分(fèn)子級。在清洗槽中分別放置(zhì)各種清洗液,並采用(yòng)超聲波加強清洗效(xiào)果,當鏡片清洗完後,放進真空艙內,在此過程中要(yào)特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後(hòu)的(de)清洗是在真空艙內(nèi),在此過(guò)程中要特別(bié)注(zhù)意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在(zài)鏡片(piàn)表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的,放(fàng)置在真空艙內的離子槍將轟擊鏡片的表麵(例(lì)如(rú)用氬離子),完成此道清洗工序後(hòu)即進行減反射膜的鍍膜。
真空鍍膜電源為什麽在現在會應(yīng)用那麽多呢,有哪些明顯的效果?
概念的區別:
1、真空鍍膜是指在(zài)高真空的條件下加熱(rè)金屬或非金屬材料(liào),使其蒸發並凝結於鍍件(jiàn)(金屬、半導體或絕緣體)表(biǎo)麵而形成(chéng)薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
2、光學鍍膜是指在光學零件(jiàn)表麵上鍍上(shàng)一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過(guò)程。在光學零件表(biǎo)麵鍍膜的(de)目的是(shì)為了達到減少(shǎo)或增加光(guāng)的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的(de)一種)和化學鍍膜。