主要型(xíng)號:
型號 | 功率 (kW) | 最大工作 電流(A) | 外(wài)形 尺寸(cùn) | 冷卻 方式 | 空載電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元 | 風冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單(dān)元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元 | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單元 |
主要(yào)特點:
A 明顯改(gǎi)善靶麵電荷積累現象,減小濺射表麵的(de)打火次數,提高膜層質量。
B 具有平均電源穩定功能,具(jù)有理想的電(diàn)壓陡降特性,
充分(fèn)滿足磁控濺射工(gōng)藝過(guò)程的連續性(xìng)。
C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
E 可選擇手動控(kòng)製/模擬量接口(kǒu)控製,可選配RS485通訊接口。
采用先進的PWM脈寬調(diào)製技術,使用進口IGBT或MOSFET作(zuò)為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝(yì)嚴格(gé)完善。
該係列產品采用先進的DSP控(kòng)製係統,充分(fèn)保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光(guāng)放電及抗短路功能,
具有(yǒu)極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵(miàn)清洗(xǐ)工藝(yì)的穩定性,又提高了靶麵清洗速(sù)度;
主要參數均可大範圍連續調節(jiē);
方(fāng)便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴(kuò)展功能(néng),方便實現自(zì)動化控製。
主要用途:
單極脈衝(chōng)磁控濺射適(shì)用(yòng)於金屬、合金及石墨等靶材鍍(dù)製金屬膜、碳(tàn)膜和部分氧(yǎng)化物、氮化物及碳化物膜。
鏡片(piàn)在接受鍍膜前必須進行預清洗,這種清洗要求很高,達到分子級。在清洗槽(cáo)中分別放置各種清洗液,並(bìng)采用超聲波加強清洗(xǐ)效果,當鏡片清洗完後,放進真(zhēn)空艙內,在此過程中(zhōng)要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾(jī)再黏附在鏡(jìng)片表麵。最後的清洗是在真空艙內,在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內(nèi)鍍前進行的,放置在真空艙(cāng)內的離子槍將轟擊鏡片的表麵(例如用氬離(lí)子),完成(chéng)此道清洗工序(xù)後即進(jìn)行減反射膜的鍍膜。
真空鍍膜電源為什麽(me)在現在會應用那麽多呢,有哪些明(míng)顯的效果?
概念的區別:
1、真空鍍膜是指在(zài)高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表麵而形成薄膜(mó)的一種方法(fǎ)。例如,真(zhēn)空鍍鋁、真空鍍鉻等(děng)。
2、光學鍍膜是指在(zài)光學零件表麵上(shàng)鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝(yì)過程。在光學零(líng)件表麵鍍膜(mó)的目的是(shì)為了達到減少或增加光的反射、分束、分色(sè)、濾(lǜ)光、偏(piān)振(zhèn)等要求。常用的(de)鍍膜法(fǎ)有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。
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